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掃描電鏡圖片上參數(shù)

發(fā)布時(shí)間：2023-04-21 23:25:28 稿源：創(chuàng)意嶺閱讀： 76

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本文目錄:

1、掃描電鏡放大倍數(shù)的實(shí)質(zhì)是什么?為什么樣品上同一個(gè)點(diǎn)高倍聚焦后從低倍到高倍
2、用掃描電鏡觀察低襯度試樣時(shí)電鏡參數(shù)如何設(shè)定,原因何在?
3、掃描電鏡圖片如何分析
4、掃描電鏡標(biāo)尺怎么看

掃描電鏡圖片上參數(shù)

一、掃描電鏡放大倍數(shù)的實(shí)質(zhì)是什么?為什么樣品上同一個(gè)點(diǎn)高倍聚焦后從低倍到高倍

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掃描電子顯微鏡的原理掃描電子顯微鏡的性能參數(shù)和意義

溫暖·生活家

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摘要：掃描電鏡是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。那么你知道掃描電子顯微鏡的原理是什么嗎？掃描電鏡由電子槍發(fā)射出電子束，在加速電壓的作用下經(jīng)過磁透鏡系統(tǒng)匯聚，形成直徑為5nm的電子束，聚焦在樣品表面上，在第二聚光鏡和物鏡之間偏轉(zhuǎn)線圈的作用下，電子束在樣品上做光柵狀掃描，電子和樣品相互作用產(chǎn)生信號(hào)電子。這些信號(hào)電子經(jīng)探測(cè)器收集并轉(zhuǎn)換為光子，再經(jīng)過電信號(hào)放大器加以放大處理，最終成像在顯示系統(tǒng)上。下面一起來看下掃描電子顯微鏡的其他知識(shí)。

一、掃描電子顯微鏡的原理

掃描電鏡由電子槍發(fā)射出電子束(直徑約50um)，在加速電壓的作用下經(jīng)過磁透鏡系統(tǒng)匯聚，形成直徑為5 nm的電子束，聚焦在樣品表面上，在第二聚光鏡和物鏡之間偏轉(zhuǎn)線圈的作用下，電子束在樣品上做光柵狀掃描，電子和樣品相互作用產(chǎn)生信號(hào)電子。這些信號(hào)電子經(jīng)探測(cè)器收集并轉(zhuǎn)換為光子，再經(jīng)過電信號(hào)放大器加以放大處理，最終成像在顯示系統(tǒng)上。

試樣可為塊狀或粉末顆粒，成像信號(hào)可以是二次電子、背散射電子或吸收電子。其中二次電子是最主要的成像信號(hào)。由電子槍發(fā)射的能量為5～35keV的電子，以其交叉斑作為電子源，經(jīng)二級(jí)聚光鏡及物鏡的縮小形成具有一定能量、一定束流強(qiáng)度和束斑直徑的微細(xì)電子束，在掃描線圈驅(qū)動(dòng)下，于試樣表面按一定時(shí)間、空間順序做柵網(wǎng)式掃描。聚焦電子束與試樣相互作用，產(chǎn)生二次電子發(fā)射(以及其他物理信號(hào))，二次電子發(fā)射量隨試樣表面形貌而變化。二次電子信號(hào)被探測(cè)器收集轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，經(jīng)視頻放大后輸入到顯像管柵極，調(diào)制與入射電子束同步掃描的顯像管亮度，可得到反應(yīng)試樣表面形貌的二次電子像。

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二、掃描電子顯微鏡的主要性能參數(shù)及意義

1、放大率

與普通光學(xué)顯微鏡不同，在SEM中，是通過控制掃描區(qū)域的大小來控制放大率的。如果需要更高的放大率，只需要掃描更小的一塊面積就可以了。放大率由屏幕/照片面積除以掃描面積得到。所以，SEM中，透鏡與放大率無關(guān)。

2、場(chǎng)深

在SEM中，位于焦平面上下的一小層區(qū)域內(nèi)的樣品點(diǎn)都可以得到良好的會(huì)焦而成象。這一小層的厚度稱為場(chǎng)深，通常為幾納米厚，所以，SEM可以用于納米級(jí)樣品的三維成像。

3、作用體積

電子束不僅僅與樣品表層原子發(fā)生作用，它實(shí)際上與一定厚度范圍內(nèi)的樣品原子發(fā)生作用，所以存在一個(gè)作用“體積”。

作用體積的厚度因信號(hào)的不同而不同：

歐革電子：0.5～2納米。

次級(jí)電子：5λ，對(duì)于導(dǎo)體，λ=1納米；對(duì)于絕緣體，λ=10納米。

背散射電子：10倍于次級(jí)電子。